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Belichtungsgenauigkeit Xenon LCD Raster Imager
#21
Le Skizze.

[Bild: 1857_belichter_ubersicht.png]

Mal davon abgesehen, dass ich die Planfeldlinse m.E. verkehrt herum eingezeichnet habe bzw. die Anordnung zu tauschen ist.
 
#22
Wow! Nice Skizze.

Guck ich mir aber erst morgen früh genauer an. Bin et was in Eile......
 
#23
So. Skizze gesichtet und verstanden.

Ich hab allerdings nicht verstanden, was Du mir damit sagen willst.... Sad
 
#24
Na ich wollte zeigen, dass die +-6um an den Stoßkanten azftreten. Also z.b. zwischen x0 und x1. Innerhalb eines Feldes nicht, da die Pixelverteilung als homogen und äquidistant angesehen wird.
 
#25
Wieso kann die Pixelverteilung als homogen angesehen werden??????

Der Spatial-Light-Modulator hat Fertigungstoleranzen. Da sind doch die Pixel nicht exakt aufgereiht.

Auch die Linse hat Fertigungstoleranzen (wodurch das Licht in jedem Pixel des Light-Modulators nicht exakt parallel verläuft).

Die Kanten der Spatial-Light-Modulator-Pixel erzeugen - je nach Bildinhalt - Interferenz-Muster, die sich unterschiedlich auf den Film auswirken. Dazu kommen die Unebenheiten des Flat-Glases. Je weiter der Film entfernt ist, desto schlimmer der Effekt.

Das Flat-Glas selbst ist unterschiedlich dick und wirkt - je nach Pixel - mal mehr und mal weniger als Linse, die das Licht - je nach Pixelposition - einmal mehr nach links und einmal mehr nach rechts ablenken.

Ebenso können im Glas submikroskopische Kristall-Störungen enthalten sein, die das Licht ablenken und streuen.

Denk doch mal wie ein Photon! Du kommst also aus irgendeinem Bereich des keineswegs punktförmigen Glühfadens und durchläufst auf Deinem Weg bis hin zum Film all die eingezeichneten Hindernisse. Jedes Hindernis kann Dich ablenken. Und nun wiederholst Du dieses Gedankenexperiment für ein anderes Pixel Deines Modulators.

Da sind doch 1000 Möglichkeiten, die dazu führen können, dass irgendein Modulator-Pixel etwas mehr links und ein anderes Pixel etwas mehr rechts auf dem Film landet. All diese Fehler hat der Hersteller addiert und spezifiziert.

Der Hersteller hat größtes Interesse, die Fehler möglichst klein anzugeben. Er würde "0" hinschreiben, wenn dem so wäre. Seine Werbestrategen wären entzückt. Aber dem ist nun mal nicht so. Er hat zähneknirschend seinen Fehler mit mehreren Mikrometern für jede einzelne Abbildung spezifizieren müssen.

Und glaub mir: das gilt auch nur dann, wenn auf Deiner Glasscheibe oder auf dem Film keinerlei Unebenheiten sind. Wenn Dein Film nur kleinste Dickenunebenheiten hat oder die lichtempfindlichen Teilchen auch nur einen Mikrometer weiter vorne oder weiter hinten in der Schicht liegen, dann erhöht sich der Fehler über die Angaben des Herstellers hinaus. Der Gerätehersteller wird sich das schon schön gerechnet haben.

 
#26
Hast schonmal ein LCD Panel mit inhomogener Pixelverteilung gesehen?
 
#27
Ja... aber natürlich überrascht

Alle künstlich erschaffenen Dinge haben Fertigungstoleranzen.

Die Gebetsmühle ist zigmal rumgelaufen. Ich klink mich hier aus.
 
#28
mimimi. Danke für die Infos. Smile
 
#29
Hersteller sagte mir heute, +-12um absolut ab Nullpunkt für den ganzen Tisch.

+-6 gilt für die Mechanik, somit zwischen den einzelenen Belichtungsfeldern und bei Zwischenfahrt.

Optische Auflösung 6000dpi, 24000dpi wird über Mikroschritte und Mehrfachbelichtung gelöst.
 
#30
Mikroschritte sind "mechanisch" bzw. "Zwischenfahrt".... klappe
 
#31
;prost
 
#32
Die Zusammenfassung des Gesagten:

Maskenwurf- Laborprotokoll
 
#33
Nice!

Wenn ich mal einen Wafer bastele, dann werde ich Eure Maske verwenden Heart
 
#34
Ohje. Big Grin
 
#35
Zitat:Original geschrieben von Rumgucker

Nice!

Wenn ich mal einen Wafer bastele, dann werde ich Eure Maske verwenden Heart

Bleib mal lieber bei Deiner uns liebgewordenen Maske.
In meinem Alter gewöhnt man sich ungern an Neues. klappe
...mit der Lizenz zum Löten!