[voltwide]

Du hast offenbar das Rechteck AC-gekoppelt, weshalb bei 1Hz und 10Hz nur stark differenzierte Signale zu sehen sind.
Ansonsten sieht der Sinus doch garnicht so schlecht aus.
Bei 500khz zeigt schon das Rechteck leichte Schwinger, die sich im Dreieck in etwa wiederfinden.

Das sieht mir nach begrenzter Bandbreite der OPVs aus: Der Integrator übersteuert kurzzeitig.
Schnellere OPVs ausprobieren.