05.02.2013, 01:16 AM
Ich vollzitiere mal die Versuchsanleitung:
Zitat:Charakteristische Röntgenstrahlen gehören neben den SE und RE zu den am häufigsten genutzten Sekundärsignalen in der Rasterelektronenmikroskopie. Durch Bestimmung der Energie (EDS) bzw. der Wellenlänge (WDS) der von der Probenoberfläche emittierten Röntgenquanten ist es dem Anwender möglich, die chemische Zusammensetzung der Probenoberfläche zu ermitteln. Als Detektor für die energiedispersive Röntgenanalyse wird ein lithiumgedrifteter Si-Kristall eingesetzt, der die Eigenschaften einer in Sperrichtung gepolten HL-Diode aufweist. Um eine weitere Drift der Li-Atome zu verhindern und einen möglichst rauschfreien Betrieb zu gewährleisten, ist es notwendig, den Detektorkristall während des Betriebes mit flüssigem Stickstoff zu kühlen. In Abb. 6 ist der Aufbau eines solchen SiLi-Detektors schematisch dargestellt.
Zitat:Ein ankommendes Röntgenquant erzeugt eine bestimmte, seiner Energie proportionale, Anzahl von Elektron-Loch-Paaren. Diese werden durch das angelegte elektrische Feld getrennt und führen schließlich zu einem äußeren Stromfluß. Dieser wird mit Hilfe eines FET in eine Spannungsamplitude proportionaler Höhe umgewandelt und dann einem VierkanalImpulshöhen-Analysator zugeführt. Die ankommenden Impulse werden entsprechend ihrer Höhe in Kanäle 'einsortiert' und geben nach Ablauf der Zählzeit (Live-Time) ein Histogramm aller detektierten Röntgenquanten wieder. Mittels im Rechner gespeicherter Energietabellen der einzelnen Elemente können dann die in der Probe vorhandenen Elemente sowohl qualitativ (Lage der Peaks) als auch quantitativ (Höhe der Peaks) bestimmt werden. Außerdem ist es möglich, Elementverteilungsbilder, sogenannte Mappings, zu erstellen. Die erreichbare Energieauflösung bei der EDS liegt bei ca. 150 eV, der Arbeitsbereich zwischen Z=5 (Bor) und Z=92 (Uran)