[christianw.]

Sollst du doch garnicht.

Reduktion um einen Faktor ist sprachlich nicht gängig? x10 = Faktor 10

Aber du hast sicher eine plausible Antwort auf?

Zitat:Original geschrieben von christianw.

Für die Reduktion gibt Miva an:

Genauigkeit:
± 0.5 mil / 12.5 um - absolut
± 0.25 mil / 6 um - Wiederholbarkeit

Heisst das, dass eine 20um Struktur zwischen 8-32um abgebildet wird? Das wäre in meinen Augen fatal.

Die Wiederholbarkeit gilt z.b. bei Doppelbelichtung, die gleiche Struktur weiters zu treffen? Ich konnte keine befriedingende Angabe finden.

Weiters heisst es:

Zitat:Die Positionierung der Projektionseinheit der MIVA Fotoplotter wird während des Plotvorgangs von optischen Encodern gesteuert, deren Auflösung entweder 1,0 oder 0,1 mkm beträgt. Sie arbeiten in einem geschlossenen Regelkreis und gewährleisten, dass die Daten über die gesamte Fläche entsprechend der gewählten Auflösung an die richtige Stelle geplottet werden. Gegebenenfalls können die Plotdaten vor dem Belichten innerhalb des Plotters in 1,0 mkm-Schritten in x- und y-Richtung gestreckt oder gestaucht werden.

Was ist "mkm"?


Wegen der Reduktion um x10, das passiert erst im nächsten Schritt.

Die Maske plotten wir in 20x20cm und auf der Rekduktionskamera wird dann um den Faktor 10 verkleinert auf Chrom belichtet. Ergibt dann 2x2cm.