19.01.2013, 04:27 PM
Ich hab beim Hersteller noch was gefunden, was die Sache wohl halbwegs aufklärt.
Für die Reduktion gibt Miva an:
Genauigkeit:
± 0.5 mil / 12.5 μm - absolut
± 0.25 mil / 6 μm - Wiederholbarkeit
Heisst das, dass eine 20um Struktur zwischen 8-32um abgebildet wird? Das wäre in meinen Augen fatal.
Die Wiederholbarkeit gilt z.b. bei Doppelbelichtung, die gleiche Struktur weiters zu treffen? Ich konnte keine befriedingende Angabe finden.
Weiters heisst es:
Was ist "mkm"?
Wegen der Reduktion um x10, das passiert erst im nächsten Schritt.
Die Maske plotten wir in 20x20cm und auf der Rekduktionskamera wird dann um den Faktor 10 verkleinert auf Chrom belichtet. Ergibt dann 2x2cm.
Zitat:Je niedriger die Auflösung, desto höher die Plotgeschwindigkeit, und umgekehrt. Man sollte beachten, dass bei allen Laser- und Rasterfotoplottern die Kleinststrukturgröße direkt mit der projizierten Fläche bzw. der Pixelgröße zusammenhängt, mit ihr allerdings nicht identisch ist. Das liegt daran, dass sich eine Linie oder ein Muster aus mehreren Pixeln zusammensetzt, die eng nebeneinander positioniert werden. Die Kleinststrukturgröße im 3000 dpi-Modus beträgt beispielsweise nicht 8,47 µm (was der projizierten Pixelgröße entspricht), sondern wurde von uns auf 70 µm festgelegt. Der Grund dafür besteht darin, dass mindestens 8 Pixel erforderlich sind, um eine Linie mit hoher Scharfzeichnung zu erzielen, unabhängig davon ob vertikal, horizontal oder schräg. Entsprechend beträgt die Mindestlinienbreite bei 24000 dpi 20 µm und bei 128000 dpi 4 µm. Um einen MIVA Fotoplotter zu finden, der Ihren Anforderungen entspricht, brauchen Sie keine Mathematikkenntnisse!
Für die Reduktion gibt Miva an:
Genauigkeit:
± 0.5 mil / 12.5 μm - absolut
± 0.25 mil / 6 μm - Wiederholbarkeit
Heisst das, dass eine 20um Struktur zwischen 8-32um abgebildet wird? Das wäre in meinen Augen fatal.
Die Wiederholbarkeit gilt z.b. bei Doppelbelichtung, die gleiche Struktur weiters zu treffen? Ich konnte keine befriedingende Angabe finden.
Weiters heisst es:
Zitat:Die Positionierung der Projektionseinheit der MIVA Fotoplotter wird während des Plotvorgangs von optischen Encodern gesteuert, deren Auflösung entweder 1,0 oder 0,1 mkm beträgt. Sie arbeiten in einem geschlossenen Regelkreis und gewährleisten, dass die Daten über die gesamte Fläche entsprechend der gewählten Auflösung an die richtige Stelle geplottet werden. Gegebenenfalls können die Plotdaten vor dem Belichten innerhalb des Plotters in 1,0 mkm-Schritten in x- und y-Richtung gestreckt oder gestaucht werden.
Was ist "mkm"?
Wegen der Reduktion um x10, das passiert erst im nächsten Schritt.
Die Maske plotten wir in 20x20cm und auf der Rekduktionskamera wird dann um den Faktor 10 verkleinert auf Chrom belichtet. Ergibt dann 2x2cm.