[Rumgucker]

Zitat:Original geschrieben von christianw.
Bei der Auswertung unserer Belichtungsmaske gibt es einen Punkt der mir derzeit noch Kopfzerbrechen bereitet.

Ok... ich bin wach und aufnahmefähig. Kaffee dampft in der Tasse.....

Zitat:Original geschrieben von christianw.
Unsere Maske wird im Verhältnis 1:10 geplottet, somit 1mm = 10mm. Die Maske wird danach per Reduktionskamera um den Faktor 10 verkleinert.

Das liest sich komisch. Geplottet wird 10:1, somit 10 mm auf dem Plot = 1mm auf dem Target. Dieser Plot wird dann um den Faktor 10 verkleinert.

Zitat:Original geschrieben von christianw.
Verwandt wird ein Belichter: MIVA 1624E T3 PHOTOPLOTTER

Ich kenn die Dinger aus der Platinenfertigung. Nicht ganz billig.

Zitat:Original geschrieben von christianw.
Davon ausgehend, dass unser Belichter 24000dpi liefert, ergibt sich 24000dpi / 25.4mm = 944.88dpmm bzw. lpmm (lines per mm)

Bitte? Wenn man die Lines pro mm haben will, so rechnet man die Millimeter pro Zoll durch die Anzahl der Linien pro Zoll. Also 25,4mm geteilt durch 24000 = 1um Auflösung.

Zitat:Original geschrieben von christianw.
Somit ist auf dem LCD-Aktiv-Matrix ein Pixel 1mm / 945dpmm = 0.00106mm = 1.06um

Wie auch immer Du das gerechnet hast: das Ergebnis ist korrekt.

Zitat:Original geschrieben von christianw.
Der Hersteller gibt eine minimale Strukturgröße von 20um an.

Naja... nehmen wir das mal so hin. Der wirds schon wissen.

Zitat:Original geschrieben von christianw.
Bei 20um Minimum ergibt sich eine optische Vergrößerung der Matrix auf den Film von 20um / 1.06um = 18.87

Kryptisch ausgedrückt! Ich würde sagen 20um-Objekte können mit fast 19 Lines abgebildet werden.

Zitat:Original geschrieben von christianw.
Für den Fehler werden 12.5um absolut angeben.

Naja... nehmen wir das mal so hin. Der wirds schon wissen.

Zitat:Original geschrieben von christianw.
Wenn man jetzt den Fehler von +-12.5um zurückrechnet, ergibt das 0.66um, was allerdings unter einem Pixel liegt. ( der ja 1.06um² haben soll). Wo ist der Fehler?

Du scheinst offensichtlich Auflösung und Strukturgröße durcheinander zu bringen. Die Auflösung beschreibt die Exaktheit der Kantenpositionierung eines Lichtpunktes. Die Strukturgröße beschreibt den minimalen Durchmesser eines Lichtpunktes.

Das ist wie bei unseren PWM-D-Amps. Die Umschaltflanke des PWM erfolgt auf der Zeitachse stufenlos und man könnte daraus Pico- oder gar Femtosekunden-"Auflösungen" ausrechnen. Die minimale Einschaltzeit des Stromes darf jedoch aus physikalischen Gründen beispielsweise hundert Nanosekunden nicht unterschreiten. Diese minimale Schaltzeit entspricht der "Strukturgröße".

Die Strukturgröße kannst Du nicht zurückrechnen. Das ist eine Angabe des Herstellers, die Du glauben musst. Wesentlich basiert sie auf der Breite des Lichtstrahls. Man kann Licht nicht unendlich fokussieren.

Die absoluten und Wiederholgenaugkeiten sind Herstellerangaben, mit denen er die Positioniergenaugkeiten seiner Schrittmotorenmechanik beschreibt. Auch diese kannst Du nicht zurückrechnen.

Verwirrung komplett oder lichten sich die Nebel?