19.01.2013, 12:25 AM
Bei der Auswertung unserer Belichtungsmaske gibt es einen Punkt der mir derzeit noch Kopfzerbrechen bereitet.
Unsere Maske wird im Verhältnis 1:10 geplottet, somit 1mm = 10mm. Die Maske wird danach per Reduktionskamera um den Faktor 10 verkleinert.
Verwandt wird ein Belichter: MIVA 1624E T3 PHOTOPLOTTER
Davon ausgehend, dass unser Belichter 24000dpi liefert, ergibt sich
24000dpi / 25.4mm = 944.88dpmm bzw. lpmm (lines per mm)
Somit ist auf dem LCD-Aktiv-Matrix ein Pixel
1mm / 945dpmm = 0.00106mm = 1.06um
Der Hersteller gibt eine minimale Strukturgröße von 20um an.
Bei 20um Minimum ergibt sich eine optische Vergrößerung der Matrix auf den Film von
20um / 1.06um = 18.87
Für den Fehler werden 12.5um absolut angeben.
Wenn man jetzt den Fehler von +-12.5um zurückrechnet, ergibt das 0.66um, was allerdings unter einem Pixel liegt. ( der ja 1.06um² haben soll)
Wo ist der Fehler?
Datenblatt anbei.
https://stromrichter.org/d-amp/content/i...e-de-1.pdf
Unsere Maske wird im Verhältnis 1:10 geplottet, somit 1mm = 10mm. Die Maske wird danach per Reduktionskamera um den Faktor 10 verkleinert.
Verwandt wird ein Belichter: MIVA 1624E T3 PHOTOPLOTTER
Davon ausgehend, dass unser Belichter 24000dpi liefert, ergibt sich
24000dpi / 25.4mm = 944.88dpmm bzw. lpmm (lines per mm)
Somit ist auf dem LCD-Aktiv-Matrix ein Pixel
1mm / 945dpmm = 0.00106mm = 1.06um
Der Hersteller gibt eine minimale Strukturgröße von 20um an.
Bei 20um Minimum ergibt sich eine optische Vergrößerung der Matrix auf den Film von
20um / 1.06um = 18.87
Für den Fehler werden 12.5um absolut angeben.
Wenn man jetzt den Fehler von +-12.5um zurückrechnet, ergibt das 0.66um, was allerdings unter einem Pixel liegt. ( der ja 1.06um² haben soll)
Wo ist der Fehler?
Datenblatt anbei.
https://stromrichter.org/d-amp/content/i...e-de-1.pdf